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真空快速退火爐

更新時間: 2020-07-17

訪問次數: 509

產品報價:

產品簡介: 真空快速退火爐操作便捷,電熱元件采用紅外燈管,升溫速度快,節省時間,滑動法蘭使裝卸樣品過程簡化,方便操作,可快速得到實驗結果,取消了反復的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成的損壞。

詳細資料:

真空快速退火爐產品特點:

1 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。

2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司*的知識產權設計,提高操作便捷性。

3 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。

產品組成:

此款CVD系統配置:

1.1200度開啟式真空管式爐(可選配單溫區、雙溫區)。

2.多路質量流量控制系統

3.真空系統(可選配中真空或高真空)   

真空快速退火爐技術參數:

產品名稱

RTP系列-滑動式快速退火爐

產品型號

RTP-G06123K-H

額定功率

9KW

額定電壓

220AC 50/60Hz

極限溫度

1000℃

連續工作

950℃(<1 小時)

加熱區長度

250mm

恒溫區長度

200mm

加熱元件

紅外燈管

溫度控制

國產程序控溫系統可編程50段程序控溫;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100mm

爐管材質

石英管

滑動距離

300mm

大降溫速度

900~200℃的降溫速度:15min 

zui快升溫速度

50ºC/S

滑動控制

由溫度控制器自動控制爐體移動.  當程序完成,爐體按設定的速度滑動。

流量計

浮子流量計60-600ml/min

滑軌尺寸

360 x1300x265mm

外形尺寸

360x385x595mm

重量

85Kg

標準配置

氣路總成一套(含真空壓力表)石英管一支、石英堵三個、鉤子一把、高溫手套一副。


 

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