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看完本篇你就知道什么是RTP快速退火爐了

點擊次數:2335    發布時間:2021-07-23
  RTP快速退火爐近年來得到越來越廣泛的應用??捎糜诠杓捌渌衔锊牧想x子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。
 
  該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能,采用三回路閉環溫度控制,精確的溫度控制部件可適用于特殊工藝要求,工藝重復性高,也可用于鐵電膜的制備以及各種半導體材料CVD的熱處理。
 
  RTP快速退火爐主要用于:快速燒結、快速退火等工藝。具有:溫度均勻、控制穩定等特點,觸摸屏操作方式(設備小巧,節約空間)。
 
  快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鑒了先進制造工藝,在管式爐的基礎上自主研發而成。
 
  這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,而且降溫速率也有了質的飛躍,降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設計工藝使得冷卻氣體直接對著樣品直吹,以至于達到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫!
 
  此款設備采用了成儀自主研發的智能AIO(All In One)控制系統,實現了爐膛自動左右移動,爐膛在左側加熱到設定溫度后,直接移動到右側樣品區域,實現樣品快速升溫,樣品加熱到設定溫度和時間后,爐膛自動移開樣品加熱區,實現樣品的快速降溫。
 
  成儀AIO智能控制系統不但實現了真空系統開啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協調控制,而且還能自動平衡爐管內的壓力大小,真正實現了操作方便,而且安全可靠。
 
  功能舉例:樣品加熱到1000℃后,爐膛自動移開加熱區,冷卻氣體自動打開直吹樣品表面實現極速降溫,樣品溫度降到70℃時自動關閉冷卻氣體。
 
  然后爐膛移動到加熱區繼續加熱,如此往復,往復次數可用戶自定義。真空系統可根據用戶設定溫度自動開啟和關閉。
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